真空滤油机是根据水和油的沸点不同原理而规划的，它由真空加热罐精滤器、冷凝器、初滤器、水箱、真空泵、排油泵以及电气柜组成的。真空泵将真空罐内的空气抽出形成真空，外界油液在大气压的作用下，通过有进口管道进入初滤器，铲除较大的颗粒，然后进入加热罐内，通过加热等40~75℃的油通过自动油漂阀，此阀是自动控制进入真空罐内的油量进出平衡。通过加热后的油液通过喷翼飞快旋转将油别离成半雾状，油中的水份急速蒸发成水蒸气并接连被真空泵吸入冷凝器内。进入冷凝器的水蒸气经冷却后再返原成水放出，在真空加热罐内的油液，被排油泵排入精滤器通过滤油纸或滤芯将微粒杂质过滤出来，然后完结真空滤油机敏捷除去油中杂质、水份、气体的全过程，使洁净的油从出油处排出机外。
离心式滤油机：去除游离水及大颗粒杂质作用较好，但由于是高速旋转，噪音太大，安全性低，现在基本不使用。
静电式滤油机：使用静电吸附的原理，去除金属类及油泥等非金属类的杂质，敞开式结构，堵塞，过滤精度高，去除微水的能力不如真空式。可是，合作自动温控式油水别离机的使用，既能很好的去除水分，也能更好的去除杂质（加热后杂质颗粒更易于与油液别离），首要用于机床液压站和液压试验台对油液清洁度要求较高的工况。
磁吸式滤油机：价格便宜，结构小，不用动力，一般用于液压管路中。可是其净化的杂质的规模和净化能力有局限性。
各种原理的组合式：针对特定的工况规划组合，但结构庞大，价格及使用维护费用较高，作用一般。
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